WLP制造工艺

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WLP是晶圆级封装(Wafer Level Packaging)的简称,是伴随着智能手机等移动设备的高功能化、薄型化而备受期待的封装技术之一。ULVAC为WLP制造工艺提供溅射、刻蚀、去胶等技术。

WLP的工艺流程

 

1. 再配线层(RDL)第一层

面向WLP的成膜/加工技术介绍

 

2. Photolitho Via形成

为了提高Seed层的铜和镀铜的接触特性而进行Descum

面向WLP的成膜/加工技术介绍

 

3. Cu Pillar作成

Cu formation by plating

 

4. PR除去

 

5. Chip搭载

 

6. Molding

7. 表面研磨

8. 再配线层(RDL)

面向WLP的成膜/加工技术介绍

9. 焊锡凸块形成

10. Tape上搭载切割框架(Dicing Frame)

11. 剥离层去除

12. 芯片切割后,从切割框架上剥离

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