2020年12月11日2021年1月26日BAW 爱发科电子器件工艺解决方案 面向BAW器件的成膜/加工技术 This post is also available in: 日语 英语介绍制造BAW器件所需的压电薄膜加工技术和用于电极形成的ULVAC技术。 压电薄膜成膜(溅射) Performance of Piezoelectric layre (Sc)AlN 压电薄膜(ScAlN)刻蚀 最小基底电极挖掘量、高刻蚀率、長時間免维护 电极以及压电薄膜(AlN)刻蚀 不只是ScAlN材料、BAW process 其他材料也有刻蚀量产实绩 Pages: 1 2