面向BAW器件的成膜/加工技术

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介绍制造BAW器件所需的压电薄膜加工技术和用于电极形成的ULVAC技术。

压电薄膜成膜(溅射)

Performance of Piezoelectric layre (Sc)AlN

压电薄膜(ScAlN)刻蚀

最小基底电极挖掘量、高刻蚀率、長時間免维护

电极以及压电薄膜(AlN)刻蚀

不只是ScAlN材料、BAW process 其他材料也有刻蚀量产实绩