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量産性とリフトオフ性を両立したコンタクト電極形成のための蒸着技術を紹介します。
蒸着装置ラインアップ
BAWプロセス向けの蒸着装置としてEVD-600をラインアップ
BAWプロセス向けコンタクト電極形成用EVD-600
コンタクト電極形成はリフトオフ蒸着が主流であり、垂直入射重要となります。その一方で、スループットも重要となりできるだけ多くの基板を搭載しバッチ成膜を行いたい要望もあります。EVD-600はこの2つの要望を実現する蒸着装置です。
