This post is also available in: 日语 英语
BAW 器件是一种滤波器，它利用压电体的振动来提取特定频段中的电信号。
BAW器件的工艺流程
 |
1. 下部电极膜 |
 |
2. 下部电极加工 |
 |
3. 压电薄膜形成面向(Sc)AlN的成膜提供溅射设备 |
 |
4. 压电薄膜加工提供蚀刻技术，最大限度地减少底层电极的挖掘量 |
 |
5. 上部电极膜 |
 |
6. 上部电极膜加工 |
 |
7. 绝缘膜形成 |
 |
8. 绝缘膜加工 |
 |
9. 背面Via加工Notch free的背面Via加工 |
 |
10. Contact电极形成通过Lift off蒸镀，实现高量产性 |