绝缘膜（SiN）加工Etching
低损伤刻蚀对于仅去除SiN非常重要。可以执行 SiN 刻蚀，同时执行终点检测并保持蚀刻速度。 … 面向GaN HEMT构造的成膜/加工技术
分类： GaN HEMT
GaN HEMT制造工艺
GaN HEMT（高电子迁移率晶体管：High Electron Mobility Transistor）是新一代功率半导体，具有低工作电阻和高抗损性，有望应用于大功率和高频电子设备。 … GaN HEMT制造工艺
GaN-HEMT结构中的Gate形成
GaN HEMT 中的Gate结构有多种模式，但都要求非常浅的加工。