最先端のパッケージ（実装）製品には、プラズマ技術が既に使われています。アルバックではウェハー、パネル向けのプラズマアッシング装置を提供しています。これらのアッシング装置はバッチ式ではなくアッシングレートの面内分布を意識した枚葉式の装置です。
一般的にアッシングとは、フォトレジストをプラズマで分解し除去する工程です。
アルバックでは実装の工程のアッシングは比較的簡単なエッチングをするという意味合いで使われています。
2. プラズマアッシング装置
ULVAC
Think Beyond Vacuum