エレクトロマイグレーションとは

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エレクトロマイグレーションとは、金属配線に電流を流すことで、流れる電子が金属原子に衝突し、金属原子が移動する現象のことである。

電子の流れる方向に金属原子が移動することにより、様々な不具合を発生させる。 不具合の内容としては、陰極側にVoidが発生したり、陽極側ではヒロックやウィスカが成長する。 それにより、Voidの発生箇所では断線が発生。また、金属原子が体積する箇所では、近くの配線と短絡が発生する。

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