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エネルギー問題は、地球規模の社会課題。省エネ・創エネにもアルバックの真空技術が活かされています。
「省エネ」に貢献するモノと聞いて、どんなモノを思い浮かべますか？高輝度LEDランプや高効率モータによる節電などはイメージし易いですね。自動車の燃費改善には、軽量化が重要です。ガソリンタンクや窓ガラスの樹脂化や、ハイブリッドカーや電気自動車ならモータやバッテリーの軽量化も始まっています。実物を目にすることは、なかなかありませんが、パワーデバイスは、電力を効率よく制御するのに欠かせません。
「創エネ」に貢献するものはどうでしょう？クリーンエネルギーなら、太陽電池や風力発電でしょうか。
これらに共通しているのは？そうです、これらの「省エネ・創エネ」を実現する製品の製造過程で、真空技術が欠かせないのです。
「省エネや創エネにつながる製品」をつくる過程にアルバックの製造装置が活躍
2つの視点で「省エネ・創エネ」の実現を図ります。
大電流を制御するために必要なパワーデバイスや、長寿命、高輝度のLEDの製造には真空装置が不可欠です。また、創エネの代表格である太陽電池の製造過程にも、多くの真空装置が使われています。
今後も、より省エネ・創エネ性能が高い製品を生み出すために、アルバックの真空装置の活躍の場はますます広がっていきます。
より安心、安全な暮らしの実現に向けて、省エネ・創エネ分野も開発の重要領域に含め、未来に向けた開発にも力を入れています。
お客様の工場での省エネに貢献アルバックは、お客様の工場で使用するエネルギーを節約する成膜装置や、排気装置を供給することで、地球環境への負荷を減らし、省エネに貢献しています。
顧客工場の省エネ・創エネに貢献するアルバックの製造装置
アルバックの真空装置は、液晶や有機ELといったスマートフォンや大型TVの高精細ディスプレイや半導体・電子部品の製造工程や、食品や医薬品の凍結乾燥、金属の溶解など幅広い分野で数多く使われています。お客様の工場での省エネを実現するため、真空装置自体の省エネ化を進めています。
太陽電池
再生可能エネルギーの代表格として、メガソーラーのみならず広く一般家庭へも普及しています。より高い発電性能を達成するため、さまざまな方法で変換効率向上の取り組みが行われています。
アルバックは、1980 年代の太陽電池黎明期から現在に至るまで、さまざまなかたちで太陽電池の製造にかかわってきました。引き続き真空成膜装置やイオン注入装置で、太陽電池の高性能化に貢献してまいります。
● インライン式スパッタリング装置 SCHシリーズ
● インライン式プラズマCVD装置 CCVシリーズ
● インライン式Cat-CVD装置 CIVシリーズ
● イオン注入装置 PVIシリーズ
高輝度LED
オフィスや家庭では、省エネの代表として、蛍光灯や白熱灯からの置き換えが進んできました。また、広告などの屋外表示や、自動車のヘッドライトなど、LED の活用範囲は、ますます拡大しています。
アルバックは、真空蒸着やスパッタリングといった成膜装置やエッチング装置、プラズマCVD 装置など従来型から高輝度タイプまで、各種LED の製造工程に貢献してまいります。
● ドライエッチング装置 NEシリーズ
● スパッタリング装置 SIVシリーズ
● 蒸着装置 eiシリーズ
次世代自動車
環境にやさしいハイブリッドカーやEV（電気自動車）を多く見かけるようになってきましたが、燃費改善など次世代自動車への取り組みはまだまだ続きます。その一つが軽量化です。ポリカーボネイト（PC）樹脂をサイドウインドウやリアウインドウに用いることにより、大幅な軽量化が期待されます。
アルバックは、樹脂グレージング表面に硬化膜を形成し、耐摩耗性を向上させるプラズマCVD装置を提供することにより、次世代自動車の軽量化、燃費低減に貢献してまいります。
● PC樹脂グレージング量産用プラズマCVD装置 ULGLAZEシリーズ
● 希土類磁石量産装置 Magriseシリーズ
パワーデバイス
家電製品や電車、自動車などに電力を供給する際には、それぞれに合った電圧、周波数に変換する必要がありますが、その制御を行うのがパワーデバイスです。より大きな電圧を扱ったり、変換の際のエネルギーロスを最小化したり、変換のスピードを速くしたりするため、従来の素材であるSiからSiC、GaNといった新たな素材を用いたものも製品化されています。
アルバックは、真空成膜装置やエッチング装置、イオン注入装置などで、従来のSi素材のみならず、新たな素材でのパワーデバイス製造工程に貢献してまいります。
● スパッタリング装置 SRHシリーズ
● SiC用イオン注入装置 IHシリーズ
● エッチング装置 NEシリーズ
顧客工場の省エネ・創エネに貢献するアルバックのコンポーネント
ドライポンプ省電力化アタッチメント ECO-SHOCK ES4A
ドライ真空ポンプは、真空を利用する生産ラインの中でも消費電力が大きい機器。これまで、真空装置の仕込み取り出し室を頻繁に排気する用途やシールガスを多く使用するドライ真空ポンプの消費電力を削減することは困難でした。
「ECO-SHOCK ES4A」はこの用途でも大幅な省エネを実現。既設のドライ真空ポンプにも後からの取り付けが可能です。
凍結乾燥工程モニターシステム
凍結乾燥（フリーズドライ）とは、水溶液や食品を凍結させ圧力をその凍結温度の飽和蒸気圧以下にすることで水分を昇華させる乾燥方法。食品のほか、医薬品の製造にも多く使われています。これまで、対象物に温度センサーを挿入して温度測定し、人が乾燥終点を判断するのが一般的でしたが、未乾燥部分が残るのを嫌がり、十分すぎる余裕時間を設定し、無駄な時間や余分なエネルギーロスが発生していました。「DRYMONI」により、乾燥工程の「見える化」が実現。品質管理の厳しい医薬品業界でも認められ、アルバックの凍結真空乾燥装置に装備しました。既設の旧型装置にも後から取り付けできるスタンドアロンタイプも取り揃えています。