IGBTの製造工手の中で、電極形成に必要となるスパッタリングの技術について紹介します。
カテゴリー: IGBT
IGBT向け加工技術の紹介（イオン注入）
IGBTプロセスで必要となるイオン注入技術について紹介します。
IGBT向け製造プロセス
ULVACではパワーデバイスIGBTの製造プロセスに向けたイオン注入装置、スパッタリング装置 等の技術を提供しています。パワーデバイスIGBT(絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ)とはInsulated Gate Bipolar Transistorの頭文字を取ったものです。