装置稼働率のUP

豊富な実験検証設備による
高い信頼性の実現

安心のサポート

全国34か所のサービス拠点、および
強力なASIAのサービスネットワーク

細かな要件に対応

40年におよぶ様々な電源経験を
活かした開発

パルス及び直流電源システム
Digital DCシリーズ

長年培ってきた電源のアプリケーションノウハウを
設計に反映したスパッタリング用DC電源

製品詳細

異常放電防止ユニット
A2Kシリーズ

後付けパルスユニット、高スループット異常放電防止
ユニット

製品詳細

RF電源/マッチングボックス
Nシリーズ

高速マッチング機能搭載プラズマプロセス用RF電源

製品詳細

高周波電源システム
RMG-1303

RFスパッタリング、プラズマCVD、エッチング等のプラズマプロセス用の13.56MHz,300W出力の整合器内蔵型RF電源

製品詳細