Language:English
マルチチャンバ型 スパッタリング装置
SME-200シリーズ
枚葉式スパッタリング装置SME-200シリーズは、
プロセス室を複数搭載可能(最大3室の200E、最大5室の200J、および最大7室の200)なマルチチャンバー式のスパッタリング装置です。
アッシング装置
Luminous NAシリーズ
Luminous NAシリーズはクリティカルな次世代ウェーハプロセスからウェーハレベル実装工程まで幅広いプロセスに対応可能なウェーハサイズフリーのアッシング装置です。