TECHNICAL JOURNAL
No.79 July/2015
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TECHNICAL JOURNAL No.79 July/2015 全ページ

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1

大型スパッタカソードにおけるIGZO成膜技術

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2

結晶太陽電池向けイオン注入装置の開発

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3

OLED用薄膜封止装置「CEE-950」の開発

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4

リークディテクタ「HELIOT 900 シリーズ」の開発

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5

マグネットカップリング搭載型油回転真空ポンプ

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6

4K 冷凍機を使った無冷媒希釈冷凍機の共同開発

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