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SEMICON Japan2015出展報告

たくさんのご来場ありがとうございました

開催期間 2015年12月16日(水) ~ 18日(金) 10:00~17:00
会場 東京ビッグサイト (アクセス
ブースNo 東3ホール No.3421

スマートセンシングに貢献する半導体・電子部品製造装置

◆ 不揮発性メモリ、微細配線工程を中心とした成膜、配線形成技術

◆ デバイス回路保護膜の耐水実験

◆ TMR(トンネル磁気抵抗)素子を用いた心磁計

◆ 超音波法による血管径測定システム  他

 最新の真空コンポーネント、薄膜計測機器のデモ・実機展示

高速分光エリプソメータ

    「最速20msの超高速測定」デモをご覧いただきました

触針式プロファイラ

    様々な試料表面の段差(膜厚)、粗さ、形状を高精度に測定するKLA-Tencor社製の触針式プロファイラ

リークディテクタ

    検査対象が大きくても、狭い通路でも…アルバックのHELIOT900なら作業がグッと楽になる!

真空ポンプ

    長期間安定した排気を実現、多彩なラインアップをご紹介

真空計

    JCSS認定校正事業者であるアルバックの信頼ある真空計ラインナップをご紹介

残留ガス分析計

    高圧下(1Pa以下)での高精度、高分解能を、革命的なシンプルさと使いやすさで実現

電源

    装置の稼働率をあげるアルバックの電源ソリューション

このほかにも、スパッタリングターゲット、ナノメタルインク、真空装置の改善改良、中古装置(スパッタ・蒸着・CVD等)、最新中古機(計測機器・真空ポンプ等)情報などご紹介しました。

 出展社セミナー登壇

IoT/IoEを構成するセンサーデバイスはセンシング機能をはじめ、通信機能などの様々な機能の融合による多機能化が進んでいます。また、小型、低消費電力を同時実現するスマート化が不可欠となります。
本セミナーでは、IoT/IoE時代に要求されるセンサーデバイスに向けたアルバックの半導体電子部品製造技術について紹介しました。

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