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スパッタリングターゲット

高純度真空蒸着材料

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アルバックの高純度真空蒸着材料はあらゆる薄膜電子デバイス分野で使用されております。クリーンな環境と高いレベルの品質保証体制の下で製造される蒸着材料はお客様に高い満足をご提供致します。

標準蒸着材料一覧

材質 純度 型式 形状 数量
Al 5N SAW-15 φ1.5×L 250gr
SAP-06 φ6×15 200P
SAP-22 φ22×14.6 20P
SAS-40 φ49×φ36×26H 3P
SAS-110 φ69×φ57×36H 2P
5N5 MAP-06 φ6×20 10P
5N8 CAP-06 φ6×20 10P
6N φ6×20
Cr 3N SCS-1 4×30×1.5 100P
SCS-2 6×8×4 100P
SCP-4 20×20×6 5P
SCH-10 φ32×φ24×15 5P
SCH-40-20 φ45×φ35×20 2P
Cu 4N ZMC-06 φ6×15 200P
Ni 4N 10×3×7 100P
4N 10×14×7 10P
4N φ45×φ35×20 2P
4N φ10×3 100P
Ti 3N φ13×7.5 100P
4N5 φ12×3.5 100P
4N5 φ45×diameter 35×20 2P
Ag Alloy 4N φ10×15 50P
Mo 4N φ10×5 10P

*標準品以外にも材料、形状等ご相談を承ります。
*各種真空蒸発源部品も取り扱っております。ご用命ください。

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