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スパッタリングターゲット

アルバックは「低パーティクル」「均質な膜厚分布」「高い使用効率」をめざして、材料ごとに製造方法を検討することで、高品質なスパッタリングターゲットを開発・製造しています。

薄膜テレビ製造装置向けスパッタリングターゲット

アルバックは、多様化・大型化するFPD(Flat Panel Display)市場向けに、高品質で安定したスパッタリングターゲットを提供します。ガラス基板、成膜装置の大型化に対応できるボンディング設備を備え、万全なターゲット供給体制を敷いています。

半導体製造装置向けスパッタリングターゲット

アルバックのスパッタリングターゲットは、低パーティクル、高い均質性、高い使用効率を実現します。また、高度な分析・評価装置により品質管理を行うことで、クリーンで高品質なターゲット材料を提供しています。

IGZOターゲット

アルバックでは、IGZO TAOS (In、Ga、Zn、Oを用いた透明アモルファス酸化物半導体)で使用されるIGZO ターゲットを製造、販売しています。

蒸着用蒸発材料

アルバックの高純度真空蒸着材料は、あらゆる薄膜電子デバイス分野で使用されています。クリーンな環境と高いレベルの品質保証体制の下で製造される蒸着材料はお客様に高い満足をご提供します。

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