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FHHnシリーズ

ホットローラー式真空熱処理炉
FHHnシリーズ

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FHH6-6150

各種金属部品の熱処理、ろう付け、焼結等の真空熱処理に幅広く利用できます。 ホットローラ搬送方式を採用し、ユニット化した各室を組み合わせることで、プロセスにあった多室炉の構成を可能としました。

特長

  • ホットローラ搬送方式の採用により、3室以上の多室炉を可能としています。
  • 準備室(真空/大気置換),予熱室(常用500ºC),加熱室(常用1150ºC),冷却室のユニットを、プロセスにあわせて組み合わせ、最適な装置を構成できます。
  • 各室をダブルゲートバルブで仕切ることで、真空/雰囲気を完全分離することが可能です。
  • キャリアガス法式の採用により金属の蒸発をおさえた処理を可能としています。
  • 生産の計画量にあわせて、ユニットの追加を行うことができます。
  • 製品セットから、加熱1→冷却1→加熱2→冷却2→取り出しをインラインで処理することが可能です。
  • 加熱室ヒータ6分割(高均熱仕様オプション)により、製品温度1150ºC±3ºCの高均熱特性を可能としています。

用途

  • 真空熱処理:各種金属の熱処理、ろう付け
  • 焼結処理:マグネット

仕様

諸元 / 型式 3060 6090 6150 備考
性能
大きさ 均熱寸法 (㎜) 300 600 600  
長さ 600 900 1500  
高さ 500 600 600  
最大処理量 (㎏) 230 500 800 トレイ重量含む
温度 最高温度 予熱室 600ºC  
加熱室 1200ºC  
常用温度 予熱室 500ºC  
加熱室 1100ºC  
均熱性 予熱室 500±5ºC 空炉5点測定
加熱室 1100±5ºC  
加熱
(特)室
1100±3ºC (特)高均熱仕様
冷却 ガス冷却 標準 30分以内 Ar,N2ガス
選択可能
加圧type 190kPaG
真空 到達圧力 標準 10-1Pa台 空炉脱ガス後の値
高真空type 10-3Pa台
常用圧力 標準(1) 1Pa〜10Pa (1)低真空中
(2)キャリアガス中
標準(2) 10Pa〜100Pa
高真空type 10-2Pa〜10-1Pa
排気時間
(min)
Loading 10min以内 空炉にて大気圧〜10Pa以下まで
Cooling 10min以内
Cooling 10min以内
Leak rate
(Pa・m3/s)
Loading 4×10-4以下 圧力上昇法
Preheating 4×10-4以下
Heating 2×10-4以下
Cooling 4×10-4以下
ユーティリティー
3室タイプ
(予熱×1 加熱×1 冷却×1)
電力量 (kVA) 210 300 480 設備電力量
冷却水量(m3/hr) 12 15 18 水温:20〜30ºC
圧縮空気量 (Nm3/min) 1000 1100 1100 必要流量
キャリアガス量 (L/min) 80 80 200 流量計のMAX値
冷却ガス量 (m3/回) 4 9 12 190kPa
加圧冷却時
床面積 (m2) 8.5 10 12  
長さ 8.5 10 13
高さ 4.5 5.8 5.8
5室タイプ
(予熱×2 加熱×2 冷却×1)
電力量 (kVA) 390 425 750 設備電力量
冷却水量 (m3/hr) 20 25 30 水温:20〜30ºC
圧縮空気量 (Nm3/min) 1000 1100 1100 必要流量
キャリアガス量 (L/min) 120 160 300 流量計のMAX値
冷却ガス量 (m3/回) 4 9 11.7 190kPa
加圧冷却時
床面積 (m2) 8.5 10 12  
長さ 11.5 12.5 17.5
高さ 4.5 5.8 5.8

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