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ULEYES

バッチ式真空成膜装置
ULEYES

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s-ULEYES

自動車ヘッドランプリフレクターなどに反射膜としてアルミ(Al)薄膜、その保護膜として酸化ケイ素(SiOx)薄膜を形成することを目的としたバッチ式蒸着装置(2ドア方式)です。

特長

  • 2ドアタイプで、片側で蒸着処理をしている間に反対のドアで処理ワークの脱着が行え、生産効率の向上が図れます。
  • ワーク(処理品)を自公転させながらアルミ薄膜を均等に成膜します。
  • ワークの前処理機構としてボンバード処理(RFグロー放電処理)機構が搭載されています。
  • 排気系にクライオトラップがついており、ワークから発生する水分をトラップすることにより、短時間の排気ができます。
  • アルミ蒸着はフィラメントを使用した抵抗加熱蒸源方式です。
  • 保護膜として、プラズマ重合法によりSiOx膜の薄膜を成膜できます(オプション)。
  • オプションで粗引きユニットを増強できます。

用途

  • 自動車分野: ランプリフレクター、内装部品、エンブレム
  • 民生分野 : 携帯筐体、化粧品キャップ等

仕様

型式 ULEYES
チャンバー材質 SUS304
治具タイプ 自公転式
自転軸有効エリア φ560 (6軸) x 1500H, φ460 (8軸) x 1500H (mm)
自転軸有効エリア(オプション) φ560 (6軸) x 1500H, φ400 (10軸) x 1500H (mm)
耐荷重(1軸) 52kg/軸, 416kg/テーブル
排気系 油拡散ポンプ+クライオトラップ+メカニカルブースターポンプ+油回転ポンプ
到達圧力 5 x 10-4Pa以下
タクトタイム(参考値) 15分
プラズマ重合 RFカソード
所要床面積
(装置本体、排気系、操作盤含む)
W x L x H
7.0m x 8.0m x 3.5m
所要電気量 3φ、200V、約105kVA
冷却水量 工業用水:約50L/min、市水:約10L/min

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