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SOLCIET, SATELLA, ZELDAシリーズ

有機EL成膜装置
SOLCIET, SATELLA, ZELDAシリーズ

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アルバックは、有機ELに向けた材料開発用実験システムから量産用クラスターシステム、インラインシステムをラインアップしております。

特長

  • SOLCIETは、前処理室、有機成膜室、電極成膜室および中間室、グローブボックスといった独立した部屋構成を持っており、材料評価からデバイス特性評価まで行なえる実験システムです。各種蒸発源はもとよりスパッタカソード等の豊富なオプションも用意し実験ユースの幅を広げます。対応基板サイズは、□100mmを標準としています。
  • SATELLA は、各プロセス室を独立させたマルチチャンバースタイルとし、SOLCIETでは困難であった、フルカラーデバイス評価を可能としています。8角形の搬送室を有し、ニーズに合わせ有機成膜室を2〜4室まで対応できます。また、高精細マスク合わせ機構を搭載しアクティブマトリックスフルカラーデバイスにも対応しております。対応基板サイズは、□200mmを標準としています。
  • ZELDAシリーズは、量産に対応したシステムです。新開発の蒸発源を盛り込むなど豊富なアプリケーションを用意しております。対応基板サイズは、G2以上対応可能です。

用途

  • 有機ELディスプレイ、有機EL照明

仕様

装置型式 SOLCIET SATELLA ZELDAシリーズ
使用用途 研究開発 研究開発・
デバイス試作
量産
基板サイズ(MAX) □100mm □200mm G2以上
装置形態

独立チャンバー
連結型

クラスター型

クラスター型・インライン型

タクトタイム - 30min〜60min 2min〜
システム構成

前処理

 ↓

ホール層

 ↓

発光層

電子輸送層

電極層

封止(手動)

前処理

 ↓

ホール層

 ↓

発光層(RGB)

発光層

電子輸送層

 ↓

電極層

 ↓

封止(手動)

前処理

 ↓

ホール層

発光層 (R)

発光層 (G)

発光層 (B)

電子輸送層

電極層

 ↓

封止(自動)

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