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真空蒸着装置

アルバックの真空蒸着装置は、板状の基板からフレキシブル基板まで、次世代電子機器、産業機器に必須な蒸着技術を提供しています。

バッチ式真空成膜装置
ULEYES

s-ULEYES

自動車ヘッドランプリフレクターなどに反射膜としてアルミ(Al)薄膜、その保護膜として酸化ケイ素(SiOx)薄膜を形成することを目的としたバッチ式蒸着装置(2ドア方式)です。

有機EL成膜装置
SOLCIET, SATELLA, ZELDAシリーズ

oled

アルバックは、有機ELに向けた材料開発用実験システムから量産用クラスターシステム、インラインシステムをラインアップしております。

有機・無機複合成膜装置
VEP シリーズ

vep

有機・無機複合成膜装置 VEPシリーズは、蒸着、スパッタリング、プラズマ重合、蒸着重合法などによりさまざまな有機・無機材料を成膜できる装置です。目的に応じた処理室を自由に選択できます。

巻取式真空蒸着装置
EWシリーズ

EWE-060

プラスチックフィルム、紙、金属箔等を連続的に巻取りながら、金属や酸化物等を蒸着する成膜装置です。小型の実験機から大量生産装置まで、又、包装材料、コンデンサ、磁気テープ他、各種用途に対応した機種を取り揃えております。

実験用小型蒸着装置
EX-200

EX_200

実験用小型蒸着装置EX-200は、EBガン及び抵抗加熱蒸発源を用いて、金属膜または酸化膜等を成膜することを目的とした蒸着装置です。

枚葉式蒸着装置
EME-400

eme400

枚葉式蒸着装置EME-400は、六角形コアを搭載した枚葉式ロードロック装置です。各プロセスチャンバーはロボット室を介してゲートバルブで仕切られているため、コンタミフリーでの連続成膜が可能であり、生産に適した装置です。

ロードロック式蒸着装置
CV-200

cv200

ロードロック式蒸着装置CV-200は基板仕込室・成膜室の2 室からなるロードロック式蒸着装置です。ロードロック式の採用により、常にクリーンな環境でのプロセスが可能で、膜の再現性に優れています。研究開発から小規模生産用まで、幅広く対応しています。

バッチ式高真空蒸着装置
eiシリーズ

ei

バッチ式高真空蒸着装置eiシリーズは、基板上に金属や酸化物を成膜するための装置です。操作パネルから集中的制御で排気操作・成膜操作を自動で行うことができるため、研究開発および少量生産に適しています。

有機材料開発用蒸着装置
Mini-Lab

mini_lab

有機材料開発用蒸着装置Mini-Labは、有機膜、アルカリ金属、金属膜等を成膜することを目的とした材料開発用のロードロック式蒸着装置です。

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