Top > 装置 > 実験用小型スパッタリング装置
CS-L

実験用小型スパッタリング装置
CS-L

For more Information

cs-l

実験用小型スパッタリング装置CS-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み」、「大気搬送」、「真空搬送」、「スパッタ室」の各モジュールの自由な組み合わせが可能です。

特長

  • タッチパネル操作により基板搬送、真空排気、成膜処理の自動制御が可能
  • 機電一体型でコンパクトな装置設計

用途

  • 研究開発

For more Information