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ULT-1400

TCOレーザースクライブ装置
ULT-1400

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ULT

本装置はガラス基板上に成膜された透明電極(TCO)膜を近赤外パルスレーザアブレーション法により除去する枚用式レーザスクライブ装置です。本装置は6式のIRレーザ発振器および光学系、ブリッジ式のXYステージ(X軸:下軸、Y軸:上軸)、基板搬送機構、集塵機、レーザ光測定機構および制御系から構成されます。ファイバーレーザおよびグラナイト製のステージを採用し、高精度で高い安定性を実現します。

特長

  • ダイオード結合のIR laser 6台搭載
    光ファイバー伝搬、パルス幅可変が可能
  • シンプルで安定性の高い光学系
  • グラナイト製 XYステージ
    高精度、低熱変動
  • 独立レーザ位置決め制御
    全てのIRレーザが独立してY, Z軸上に搭載
  • レーザ出力の自動測定、キャリブレーション機能
  • タクト時間 < 90 sec(弊社標準パターン)

用途

  • 薄膜太陽電池(TCO Laser scribing)

仕様

基板サイズ W1400 x D1100 x t=3-5mm
タクトタイム < 90 sec. (弊社標準パターン)
励起方法 レーザダイオード
レーザ波長 約1.06μm
ビーム伝搬 光ファイバー
ビーム形状 約50-70μm円形
ビーム本数 1ビーム/1ユニット
冷却方式 空冷
ステージサイズ W2420mm x L4570mm x H2100mm
有効ストローク X軸(下軸):2000mm
Y軸(上軸):1260mm
Z軸(Y軸上に搭載):50mm
最大速度 X:1000mm/sec
Y:600mm/sec.
X-Y直交度 5μm/500mm以内
繰返し位置決め精度 +/-10μm以内

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