Top > 装置 > バッチ式ドライエッチング装置
ULDEX-1600

バッチ式ドライエッチング装置
ULDEX-1600

For more Information

ULDEX

ULDEX-1600は太陽電池シリコン基板で、エッチングガスを導入し高周波パワーにて表面凸凹構造を形成するプロセスを提供する装置です。シリコン基板表面に低反射となる凸凹構造を形成することにより、太陽電池セルの光吸収を向上させ、セル変換効率の向上に寄与することができます。

uldex_texturing

 

特長

  • 高スループット: 4000pcs./hr
  • シンプル構造: チャンバー内駆動レス
  • シンプルメンテナンス

用途

  • 単結晶Si基板
  • 多結晶Si基板
  • Mono-like Si基板

仕様

  ULDEX-1600
Waferサイズ (mm) □156
Tray搭載枚数 (□156mm) 100pcs.
部屋構成 1) プロセス室 2室
2) 移載機 オプション
スループット 4000 (ULVAC標準条件)

For more Information