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その他

真空をベースにしたあらゆるサービス、分析、アフターフォローまでを約束する、アルバックソリューションズ。

TCOレーザースクライブ装置
ULT-1400

ULT

本装置はガラス基板上に成膜された透明電極(TCO)膜を近赤外パルスレーザアブレーション法により除去する枚用式レーザスクライブ装置です。本装置は6式のIRレーザ発振器および光学系、ブリッジ式のXYステージ(X軸:下軸、Y軸:上軸)、基板搬送機構、集塵機、レーザ光測定機構および制御系から構成されます。ファイバーレーザおよびグラナイト製のステージを採用し、高精度で高い安定性を実現します。

バッチ式ドライエッチング装置
ULDEX-1600

ULDEX

ULDEX-1600は太陽電池シリコン基板で、エッチングガスを導入し高周波パワーにて表面凸凹構造を形成するプロセスを提供する装置です。シリコン基板表面に低反射となる凸凹構造を形成することにより、太陽電池セルの光吸収を向上させ、セル変換効率の向上に寄与することができます。

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乾燥炉
AMF-1000 ACF-500 ASF-500

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アルバックの真空乾燥炉は、HVからUHVの圧力領域でクリーンな環境下での脱ガス、前処理用途や、部品表面に付着した物質を真空アニールにて清浄化させる再生処理用途に適応した装置です。

放出ガス測定装置
TDS-2001

tds-2001

本装置は小試料対応の放出ガス分析装置です。 半導体プロセスやディスプレイ等、様々な分野にてご使用頂けます。新材料の開発用途に最適です。

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