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NLD-5700

オプトデバイス、MEMS向け ドライエッチング装置
NLD-5700

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nld5700

オプトデバイス、MEMS向けドライエッチング装置NLD-5700は、磁気中性線プラズマ(NLD)源を搭載した量産用ドライエッチング装置です。 (アルバックが独自に開発した磁気中性線プラズマ(NLD)による低圧・低電子温度・高密度プラズマを搭載したドライエッチング装置。)

特長

  • クリーンルーム内作業で2室(NLDや有磁場ICP、CCPやアッシング室)への拡張ができる。
  • NLDは時空間制御が可能なプラズマのためドライクリーニングが容易。
  • 簡単なチャンバーメンテナンスを実現。
  • マスクエッチングから石英・ガラスのエッチングまでプロセスソリューションを提供。
  • 半導体技術研究所による万全のプロセスサポート体制。

用途

  • 光デバイス(回析格子や変調器、光導波路や光スイッチ等々)、凹凸型のマイクロレンズ。
  • 流体経路作成(μ-TAS)やフォトニック結晶。

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