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APIOS NE-950EX

ドライエッチング装置
APIOS NE-950EX

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s-NE-950EX

LED向け量産専用ドライエッチング装置「NE-950EX」は、当社従来比140%の生産性を実現。ICP高密度プラズマ源やアルバック独自のスター電極搭載したドライエッチング装置です。

特長

  • 高い生産性(当社従来比140%向上)を実現。
    4inchウエハで7枚同時置き一括処理、6inchウエハでは3枚同時一括処理が可能。
    小径ウエハの2inchウエハで29枚、3inchウエハで12枚が可能。
  • 化合物半導体で600台以上の実績を誇る有磁場ICP(ISM※1)高密度プラズマ源搭載。
  • 高い生産性(当社従来比140%向上)を実現。
    ※1:アルバック特許第3188353号
  • RF投入窓の汚れ防止対策としてアルバックが独自に開発したスター電極※2を搭載。
  • 高い生産性(当社従来比140%向上)を実現。
    ※2:アルバック特許第3429391号
  • デポ対策を徹底し、メンテ性や長期安定性、信頼性を実現したハードウエア。
  • 豊富なプロセスアプリケーションを持つドライエッチング技術(GaN、サファイア、各種メタル、ITO、SiC、AlN、ZnO、4元系化合物半導体材料等々)。
  • 豊富なオプション機能。

用途

  • LED向けGaN、及びサファイア、各種メタル、ITO等の各種ドライエッチング

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