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NE-5700/NE-7800

量産用ドライエッチング装置
NE-5700/NE-7800

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ne7800h

量産用ドライエッチング装置NE-5700/NE-7800は、1チャンバーからマルチチャンバーに対応し、コストパフォーマンスを重視した拡張性あるエッチング装置です。

特長

  • 1チャンバー以外にさらに有磁場ICP(ISM)やNLDプラズマ源、アッシングチャンバーやCCPチャンバーが搭載可能で多用なエッチングプロセスに対応。
  • プロセス再現性や安定性のためのスター電極や各種温調機能を搭載。
  • 容易なメンテナンス構造で最小のダウンタイム、再生洗浄やパーツ提供、メンテナンスやトレイニングサービス等の総合バックアップ体制。
  • 半導体技術研究所による万全のプロセスサポート体制。

用途

  • 化合物(LEDやLD、高周波デバイス)やパワーデバイス(IGBT配線加工、SiC加工)。
  • メタル配線や層間絶縁膜(樹脂系)、ゲート電極加工プロセスに。
  • 強誘電体材料や貴金属エッチングに。
  • 磁性体材料加工に。

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