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CE-L

実験用小型エッチング装置
CE-L

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s-CE-L

小型エッチング装置CE-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み大気搬送」、「真空搬送」等の自由な組み合わせが可能です。タッチパネル操作により基板搬送、真空排気、エッチング処理の自動制御が可能で機電一体型のコンパクト設計を実現しています。

特長

  • 標準で5段大気カセット室を装備し、あらかじめセットした複数のトレイを自動でプロセス処理可能
  • プロセスはタッチパネルでのレシピ入力可能
  • 並行平板 (Rタイプ) 標準、ICP (Iタイプ) のオプションを採用できます。

用途

  • 研究開発

仕様

装置構成 大気カセット + 大気搬送 + エッチング室
搬送機構 圧空式マニピュレーター (大気搬送)
対応基板サイズ φ150mm x 1 枚
プラズマ方式 平行平板 (CCP), (ICP方式はオプション)

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