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Luminous NA シリーズ
アッシング装置
Luminous NA シリーズ
Luminous NAシリーズはクリティカルな次世代ウェーハプロセスからウェーハレベル実装工程まで幅広いプロセスに対応可能なウェーハサイズフリーのアッシング装置です。
特長
クリティカルな次世代ウェーハプロセスに必要な 1 x 10
16
atoms/cm
2
以上の イオンインプラント剥離プロセス・ポリマー除去プロセスをダメージフリーで実現が可能です。
F系Gas添加プロセスに最適なチャンバ−構成になっており、パーティクルフリーで対応可能です。このためノーマルPRから イオンインプラント剥離・有機膜はく離(PI、DFRなど)剥離・酸化膜エッチングなど非常に幅広いプロセス構築が可能です。
シンプルな装置構成を採用し「卓越したメンテンス性・信頼性」と「ローコスト」を同時に実現しています。
フレキシブルなチャンバー構成が可能(μ波、RIE、μ波+RIE)になっており、豊富な搬送経路を選択可能になっています。
ウェーハサイズをレシピ設定のみで切替え可能になっておりウェーハサイズ変更が非常に容易に可能です。
用途
フロントエンドプロセスにおける イオンインプラント剥離プロセス(1 x 10
16
atoms/cm
2
以上)やポリマー除去
CF
4
添加プロセスが必要なウェーハプロセス(電子部品・LED)
チップサイズパッケージやBUMP工程
CCDカラーフィルター製造プロセス
仕様
型式
対応ウェーハサイズ
Luminous NA-8000
100mm, 125mm, 150mm and 200mm
Luminous NA-1300
200mm and 300mm
製品別カテゴリ
スパッタリング装置
バッチ式
ロードロック式
インライン式
巻取式
CVD装置
真空蒸着装置
蒸着重合装置
アッシング装置
エッチング装置
イオン注入装置
アニール装置
真空炉
巻取り装置
凍結真空乾燥装置
真空蒸留装置
ヘリウムリークテスト装置
その他
用途別カテゴリ
半導体プロセス (FEOL/BEOL)
酸化膜除去
スパッタリング
CVD/ALD
半導体プロセス(不揮発性メモリ)
スパッタリング・CVD
エッチング
LEDデバイス
エッチング
アッシング
スパッタリング
蒸着
PE-CVD
パワーデバイス
おもて面
エッチング
アニール
アッシング
イオン注入
スパッタリング
裏面
イオン注入
スパッタリング
蒸着
実装
TSV
エッチング
アッシング
PE-CVD
スパッタリング
CSP
PE-CVD
スパッタリング
MEMSデバイス
エッチング
アッシング
スパッタリング
蒸着
CVD
開発試作
光学膜
エッチング
スパッタリング
蒸着
CVD
磁気デバイス
スパッタリング
蒸着
エッチング
二次電池
スパッタリング
蒸着
蒸着重合
LCD
アレイ工程
スパッタリング
蒸着
CVD
カラーフィルター工程
スパッタリング
蒸着
OLED
スパッタリング
CVD
蒸着
タッチパネル
ガラス基板
スパッタリング
CVD
蒸着
フィルム基板
巻取スパッタリング
蒸着
ディスプレイ用研究開発装置
スパッタリング
CVD
蒸着
太陽電池
薄膜系太陽電池
スパッタリング
CVD
その他
蒸着
結晶系太陽電池
スパッタリング
CVD
化合物系太陽電池/その他
スパッタリング
R&D
スパッタリング
CVD
蒸着
磁石
希土類磁石
誘導溶解
水素粉砕
焼結
時効処理
自動車部品
Window Coating
CVD
リフレクター
蒸着
エンブレム
蒸着
ミラー
スパッタリング
内装部品
蒸着
熱交換器
ブレージング
リークテスト
カム・ギア
熱処理
焼結
ホイール
スパッタリング
磁石
コンデンサ
パワーデバイス
配線材料
FPC
蒸着
コンデンサ
フィルムコンデンサ
蒸着
Taコンデンサ
焼結
包装材料
食品包装
蒸着
リークテスト
バリア包装
蒸着
リークテスト
加飾
金糸・銀糸
蒸着
転写材料
蒸着
医薬品
原薬
乾燥
蒸留
中間体
乾燥
蒸留
固形製剤/注射薬(無菌製剤) /試験薬キット
乾燥
食品
健康食品/食品添加物/食用油脂
蒸留
乾燥食品
乾燥
ヘルスケア
化粧品原料/ 健康補助食品原料
蒸留
エレクトロニクス材料
モールド材/ レジスト材/ 潤滑剤
蒸留
高分子材料
乾燥
蒸留
セラミックス/ 金属微粉
乾燥
機能性材料
形状記憶合金
Induction Melting
航空機
航空機部品
Heat Treatment
ろう付け
送電機器
真空遮断器
焼結
ろう付け
コンデンサ
蒸着
家電
真空魔法瓶
ろう付け
給湯機用熱交換器
ろう付け
リークテスト
エアコン用 熱交換器
ろう付け
リークテスト
エアコン用 コンプレッサー
ろう付け
リークテスト