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アッシング装置

電子デバイス、半導体デバイス製造工程に不可欠なレジスト除去技術を、環境配慮型(溶液不使用)、高生産性で提供します。

アッシング装置
Luminous NA シリーズ

NA-1300L full module

Luminous NAシリーズはクリティカルな次世代ウェーハプロセスからウェーハレベル実装工程まで幅広いプロセスに対応可能なウェーハサイズフリーのアッシング装置です。

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