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PFSシリーズ

活性化アニール装置
PFSシリーズ

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PFS

PFSシリーズはSiC プロセス等の高温での処理が必要な工程にマッチングさせた活性化アニール装置です。基板サイズ最大φ 150mm に対応が可能です。

特長

  • 最大φ150mm基板まで対応が可能
  • 最大2000℃の加熱が可能
  • 高真空対応
  • 1バッチ25枚の一括処理(5枚処理機もラインナップ)

用途

  • SiCパワーデバイス用
  • 研究開発
  • 量産用

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