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巻取スパッタリング

巻取式スパッタリング装置
SPW シリーズ

SPW165

SPWシリーズは、プラスチックフィルム上に、光学膜やメタル等の多層成膜をすることが出来る巻取式スパッタリング装置です。成膜室間で雰囲気分離を施し、高機能多層膜を一括成膜可能です。

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