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二次電池

小型電子機器、生体医療機器への適用や環境発電デバイスとの融合を目指した新型二次電池の一貫製造技術を提供します。

スパッタリング

バッチ式スパッタリング装置
SX シリーズ

sx-200

バッチ式スパッタリング装置SXシリーズは、各種電子部品等の多目的実験から小・中規模生産まで幅広いニーズに対応可能なスパッタリング装置です。

マルチチャンバ型スパッタリング装置
SME-200シリーズ

WEB用MA11-3104,3105-SME-200八角形2

プロセス室を複数搭載可能(最大3室の200E、最大5室の200J、および最大7室の200)なマルチチャンバ型のスパッタリング装置です。

ロードロック式 スパッタリング装置
CS-200

CS200

ロードロック式スパッタリング装置CS-200は、研究開発から小規模生産まで対応のロードロック式スパッタリング装置です。

実験用小型スパッタリング装置
CS-L

cs-l

実験用小型スパッタリング装置CS-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み」、「大気搬送」、「真空搬送」、「スパッタ室」の各モジュールの自由な組み合わせが可能です。

蒸着

巻取式真空蒸着装置
EWシリーズ

EWE-060

プラスチックフィルム、紙、金属箔等を連続的に巻取りながら、金属や酸化物等を蒸着する成膜装置です。小型の実験機から大量生産装置まで、又、包装材料、コンデンサ、磁気テープ他、各種用途に対応した機種を取り揃えております。

実験用小型蒸着装置
EX-200

EX_200

実験用小型蒸着装置EX-200は、EBガン及び抵抗加熱蒸発源を用いて、金属膜または酸化膜等を成膜することを目的とした蒸着装置です。

ロードロック式蒸着装置
CV-200

cv200

ロードロック式蒸着装置CV-200は基板仕込室・成膜室の2 室からなるロードロック式蒸着装置です。ロードロック式の採用により、常にクリーンな環境でのプロセスが可能で、膜の再現性に優れています。研究開発から小規模生産用まで、幅広く対応しています。

バッチ式高真空蒸着装置
eiシリーズ

ei

バッチ式高真空蒸着装置eiシリーズは、基板上に金属や酸化物を成膜するための装置です。操作パネルから集中的制御で排気操作・成膜操作を自動で行うことができるため、研究開発および少量生産に適しています。

有機材料開発用蒸着装置
Mini-Lab

mini_lab

有機材料開発用蒸着装置Mini-Labは、有機膜、アルカリ金属、金属膜等を成膜することを目的とした材料開発用のロードロック式蒸着装置です。

蒸着重合

有機・無機複合成膜装置
VEP シリーズ

vep

有機・無機複合成膜装置 VEPシリーズは、蒸着、スパッタリング、プラズマ重合、蒸着重合法などによりさまざまな有機・無機材料を成膜できる装置です。目的に応じた処理室を自由に選択できます。