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エッチング

研究開発向け 高密度プラズマエッチング装置
NE-550EX

NE-550H

研究開発向け高密度プラズマエッチング装置NE-550EXは、有磁場ICP(ISM=Inductively Super Magnetron)方式の高密度プラズマエッチング装置、枚葉式でLL室を標準装備し、コンパクト・低価格を実現しました。

高密度プラズマドライエッチング装置
ULHITETM NE-7800H

NE7800

高密度プラズマドライエッチング装置ULHITETM NE-7800HはFeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAMなどに用いられる難エッチング材料(強誘電体、貴金属、磁性膜等)のエッチングに対応したマルチチャンバー型の低圧・高密度プラズマエッチング装置です。

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