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SRH シリーズ

裏面・実装用スパッタリング装置
SRH シリーズ

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SRH-420

裏面・実装用スパッタリング装置 SRHシリーズは、パワーデバイス、WL-CSP、UBMなどの金属成膜を行うことを目的とした量産用の装置です。

特長

  • φ125〜φ200mm基板に対応
  • 極薄ウェーハ対応(厚さ50μmまでの自動搬送に対応)
  • 最大5プロセスに対応
  • ISM方式によるスパッタエッチングを搭載可能
  • ESCによる効率の良い冷却が可能

用途

  • パワーデバイス
  • WL-CSP(電解メッキのシード層用)
  • UBM(バリアメタル)

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