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SME-200シリーズ

マルチチャンバ型スパッタリング装置
SME-200シリーズ

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WEB用MA11-3104,3105-SME-200八角形2

プロセス室を複数搭載可能(最大3室の200E、最大5室の200J、および最大7室の200)なマルチチャンバ型のスパッタリング装置です。

特長

  • φ200mm基板を搬送可能
  • プロセス室として、多様なモジュールをラインナップ
  • 誘電体用モジュール

    高温成膜モジュール

    精密分布モジュール

    エッチングモジュール

用途

  • 電子部品
  • MEMS
  • パワーデバイス
  • LED

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