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IH-860DSIC

SiC用高温イオン注入装置
IH-860DSIC

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ih860dsic

高温ESCを搭載したSiC量産用高エネルギーイオン注入装置です。

特長

  • 自動連続高温処理注入が可能
  • 1価イオンで350keV、2価イオンで700keVまでの注入が可能
    (オプションで1価イオンで430keV、2価イオンで860keVまで対応)
  • デュアルエンドステーションにて高スループットを実現
    (A系4"高温ESC/B系3"高温ESC、A系6"高温ESC/B系6"常温ESC等、お客様の希望に合わせた仕様構築が可能)
  • チェーン注入可能なため、オペレータの負荷軽減
  • コンパクト設計
  • 試作から量産まで幅広く対応可能

用途

  • SiC向けイオン注入装置

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