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EX-200

実験用小型蒸着装置
EX-200

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EX_200

実験用小型蒸着装置EX-200は、EBガン及び抵抗加熱蒸発源を用いて、金属膜または酸化膜等を成膜することを目的とした蒸着装置です。

特長

  • SUS製チャンバー、小型省スペース
  • 抵抗加熱蒸発源(最大6点まで搭載可能)、EBガンから選択可能
  • 拡散ポンプ、ターボ分子ポンプ、クライオポンプから選択可能
  • 基板加熱機構、共蒸着、公転成膜等のオプションを用意

用途

  • 各種実験用

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