Top > 装置 > 用途別カテゴリ > 太陽電池 > 薄膜系太陽電池 > その他 >

その他

TCOレーザースクライブ装置
ULT-1400

ULT

本装置はガラス基板上に成膜された透明電極(TCO)膜を近赤外パルスレーザアブレーション法により除去する枚用式レーザスクライブ装置です。本装置は6式のIRレーザ発振器および光学系、ブリッジ式のXYステージ(X軸:下軸、Y軸:上軸)、基板搬送機構、集塵機、レーザ光測定機構および制御系から構成されます。ファイバーレーザおよびグラナイト製のステージを採用し、高精度で高い安定性を実現します。

バッチ式ドライエッチング装置
ULDEX-1600

ULDEX

ULDEX-1600は太陽電池シリコン基板で、エッチングガスを導入し高周波パワーにて表面凸凹構造を形成するプロセスを提供する装置です。シリコン基板表面に低反射となる凸凹構造を形成することにより、太陽電池セルの光吸収を向上させ、セル変換効率の向上に寄与することができます。

uldex_texturing

 

▲Return to Top