Top > 装置 > 用途別カテゴリ > 太陽電池 > 薄膜系太陽電池 >

薄膜系太陽電池

スパッタリング

巻取式スパッタリング装置
SPW シリーズ

SPW165

SPWシリーズは、プラスチックフィルム上に、光学膜やメタル等の多層成膜をすることが出来る巻取式スパッタリング装置です。成膜室間で雰囲気分離を施し、高機能多層膜を一括成膜可能です。

横型インライン式スパッタリング装置
SCH シリーズ

SCH

SCHシリーズは透明導電膜や金属膜等を成膜する横型インライン式スパッタリング装置です。太陽電池生産ラインの裏面電極膜、絶縁膜等の各種成膜プロセスに対応しています。

CVD

縦型プラズマCVD装置
CCV シリーズ

CCV

CCVシリーズはa-Si成膜用縦型CVD装置です。30年以上の量産実績を持っています。個別のチャンバーで低デポレートに成膜することで高品質な膜質が得られます。

その他

TCOレーザースクライブ装置
ULT-1400

ULT

本装置はガラス基板上に成膜された透明電極(TCO)膜を近赤外パルスレーザアブレーション法により除去する枚用式レーザスクライブ装置です。本装置は6式のIRレーザ発振器および光学系、ブリッジ式のXYステージ(X軸:下軸、Y軸:上軸)、基板搬送機構、集塵機、レーザ光測定機構および制御系から構成されます。ファイバーレーザおよびグラナイト製のステージを採用し、高精度で高い安定性を実現します。

バッチ式ドライエッチング装置
ULDEX-1600

ULDEX

ULDEX-1600は太陽電池シリコン基板で、エッチングガスを導入し高周波パワーにて表面凸凹構造を形成するプロセスを提供する装置です。シリコン基板表面に低反射となる凸凹構造を形成することにより、太陽電池セルの光吸収を向上させ、セル変換効率の向上に寄与することができます。

uldex_texturing

 

蒸着

巻取式真空蒸着装置
EWシリーズ

EWE-060

プラスチックフィルム、紙、金属箔等を連続的に巻取りながら、金属や酸化物等を蒸着する成膜装置です。小型の実験機から大量生産装置まで、又、包装材料、コンデンサ、磁気テープ他、各種用途に対応した機種を取り揃えております。