Top > 装置 > 用途別カテゴリ > 太陽電池 > 結晶系太陽電池 > CVD >

CVD

縦型プラズマCVD装置
CCV シリーズ

CCV

CCVシリーズはa-Si成膜用縦型CVD装置です。30年以上の量産実績を持っています。個別のチャンバーで低デポレートに成膜することで高品質な膜質が得られます。

▲Return to Top