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結晶系太陽電池

スパッタリング

横型インライン式スパッタリング装置
SCH シリーズ

SCH

SCHシリーズは透明導電膜や金属膜等を成膜する横型インライン式スパッタリング装置です。太陽電池生産ラインの裏面電極膜、絶縁膜等の各種成膜プロセスに対応しています。

CVD

縦型プラズマCVD装置
CCV シリーズ

CCV

CCVシリーズはa-Si成膜用縦型CVD装置です。30年以上の量産実績を持っています。個別のチャンバーで低デポレートに成膜することで高品質な膜質が得られます。