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スパッタリング

横型インライン式スパッタリング装置
SCH シリーズ

SCH

SCHシリーズは透明導電膜や金属膜等を成膜する横型インライン式スパッタリング装置です。太陽電池生産ラインの裏面電極膜、絶縁膜等の各種成膜プロセスに対応しています。

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