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SPW シリーズ

巻取式スパッタリング装置
SPW シリーズ

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SPW165

SPWシリーズは、プラスチックフィルム上に、光学膜やメタル等の多層成膜をすることが出来る巻取式スパッタリング装置です。成膜室間で雰囲気分離を施し、高機能多層膜を一括成膜可能です。

特長

  • プロセスや生産性に応じてモジュールの選択が可能
  • モジュールを任意に選択・追加することで様々な用途に応用可能
  • 装置操作はフロアレベルで可能
  • 優れた雰囲気分離性能と成膜プロセスの改善で高品位な膜のハイレート成膜が可能

用途

  • タッチパネル用配線膜、透明導電膜およびインビジブル膜他
  • FPC用電極膜

仕様

SPW-030 SPW-060 SPW-165 C1 SPW-165 C2
Target Material ITO, Nb2O5, SiO2, Cu and Metal
Web Width Max300mm Max750mm Max1600mm
Web Thickness(μm) 25 to 200
Web Material PET, PI, PC, COP and Others
W/UW Max Diameter φ300mm φ400mm /φ700mm φ900mm
Winding Speed(m/min) 0.5 to 5.0 0.1 to 10 0.5 to 10
Cathode Structure External External / Internal Internal
Number of Cathode 4sets 8sets 16sets
4Pair 8Pair
Power Supply DC or AC
Numbar of Main Roller 1set 2sets
MR Temp -5 to 180ºC -20 to 80ºC -20 to 100ºC
-10 to 180ºC
Option Bombard system, Ion Gun and Others

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