ロードロック式スパッタリング装置
SPH シリーズ
車載ミラー、樹脂成型品など小型部品の生産工程の一貫自動化に対応したロードロック式スパッタリング装置です。2ステージ仕様のSPH-320/320M、4ステージ仕様のSPH-340Mをラインナップしております。
- 製品に合わせて、基材搬送、トレイ搬送、基材自転治具機構の搬送方法が選択できます。
- 樹脂製品に必要な前処理機構(*1)、複層成膜に必要な雰囲気分離(*2)、製品タクトに合わせた排気系増強、３D形状の全周面成膜が可能となる自転治具機構(*1)など幅広いオプションを設定しております。
*1：SPH-320M及び340Mのオプション設定
*2：SPH-340Mのオプション設定 - ターゲット交換作業を簡素化するため、クランプ式を採用しております。
- 自動車分野 ：車載ミラー、エンブレム、内装部品、小型ランプリフレクターなど
- 民生品分野 ：携帯筐体、コスメティック容器など
- 機能性膜 ：干渉膜、不導体膜、複層膜