Top > 装置 > 枚葉式蒸着装置
EME-400

枚葉式蒸着装置
EME-400

For more Information

eme400

枚葉式蒸着装置EME-400は、六角形コアを搭載した枚葉式ロードロック装置です。各プロセスチャンバーはロボット室を介してゲートバルブで仕切られているため、コンタミフリーでの連続成膜が可能であり、生産に適した装置です。

特長

  • 成膜、加熱室の選択ドッキングが可能
  • 最大300mm×400mm基板まで対応
  • フェイスアップ搬送なので、移載機とのドッキングが容易
  • 基板自転機構による良好な膜厚分布
  • 基板加熱 最高温度350℃
  • トランスバースEBガンを採用したコンパクトな装置構成
  • ロッドないしワイヤーフィールドによる材料供給機構を選択搭載可能

用途

  • FEDなど

For more Information