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EWシリーズ

巻取式真空蒸着装置
EWシリーズ

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EWE-060

プラスチックフィルム、紙、金属箔等を連続的に巻取りながら、金属や酸化物等を蒸着する成膜装置です。小型の実験機から大量生産装置まで、又、包装材料、コンデンサ、磁気テープ他、各種用途に対応した機種を取り揃えております。

特長

  • 基板搬送は最新の巻取制御技術を駆使し、各種材質、サイズに応じ安定した走行を実現しています。
  • 蒸着目的に応じ、最適な蒸発源(誘導加熱方式、抵抗加熱方式、EB加熱方式)を選択できます。
  • プロセス条件を最適化する為に、各種前処理/後処理機構を取り揃えております。
  • オンライン測定が可能な、透過式膜厚モニタ・渦電流式膜厚モニタ・抵抗値モニタ・等を取り揃えております。

用途

  • 包装材料、透明ガスバリア、金銀糸
  • コンデンサ
  • 磁気テープ
  • 光学膜

仕様

EWAシリーズ EWEシリーズ EWDシリーズ
用途 包装材料、金銀糸 コンデンサ
蒸発源 高周波誘導加熱方式 抵抗加熱方式
基板材質 PET、OPP、PVC、CPP他高分子フィルム、紙、金属箔等
基板サイズ(幅) 〜3000mm 〜670mm
巻取速度 1,000 m/min max. 1,200 m/min max.
膜厚分布n ±5%(成膜条件により変動します)
膜厚モニター 透過式モニタ、渦電流式モニタ、接触式抵抗値モニタ等
膜厚モニター 基板加熱、AC/DCボンバード、RFボンバード等
主排気系 油拡散ポンプ、油拡散エゼクタポンプ

 

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