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Mini-Lab

有機材料開発用蒸着装置
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有機材料開発用蒸着装置Mini-Labは、有機膜、アルカリ金属、金属膜等を成膜することを目的とした材料開発用のロードロック式蒸着装置です。

特長

  • 搬送室+成膜室のロードロック式真空蒸着装置
  • 有機膜、アルカリ金属、金属膜を成膜することが可能
  • 成膜方法は回転成膜、インデックス成膜、スライド成膜のいずれかを選択可能
  • マスク成膜及びマスク交換機構を装備、1バッチで有機蒸着に必要なプロセスが可能
  • 搬送室はグローブボックスが接続可能で、大気に曝すことなく基板の受け渡しが可能

用途

有機材料開発用

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