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VEP シリーズ

有機・無機複合成膜装置
VEP シリーズ

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有機・無機複合成膜装置 VEPシリーズは、蒸着、スパッタリング、プラズマ重合、蒸着重合法などによりさまざまな有機・無機材料を成膜できる装置です。目的に応じた処理室を自由に選択できます。

特長

  • 単機能の真空処理室から複数の成膜室を組み合わせることが可能です。
  • 真空中で連続して一連の処理が可能です。
  • 有機材料に対して蒸気圧に応じた蒸発源が選択できます。
  • 将来希望する任意の処理室を接続可能です。

用途

  • 分子デバイス
  • バイオセンサ
  • 有機EL/半導体
  • 層間絶縁膜
  • 有機機能薄膜

仕様

装置名 VEP-1000シリーズ
チャンバー材質 ステンレス製
チャンバーサイズ 直径350mm×高さ650mm
基板サイズ 直径2インチ又は2インチ角
排気系 油拡散ポンプ又はターボ分子ポンプ
到達圧力 10-4Pa以下
基板加熱 最高温度250℃
基板搬送 圧空式水平搬送方式

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