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CVD

カーボンナノチューブ成長実験装置
CN-CVD-400

cncvd400_800

アルバックは、基板上にカーボンナノチューブ(以下ナノチューブとする)を垂直、かつ選択的に成長させる技術を世界で初めて開発しました。この技術は、マイクロ波プラズマCVD技術を利用したもので、ナノチューブを高純度で大量生産することが可能となり、電池・水素貯蔵などの多くの分野で画期的な性能向上が期待できます。

有機・無機複合成膜装置
VEP シリーズ

vep

有機・無機複合成膜装置 VEPシリーズは、蒸着、スパッタリング、プラズマ重合、蒸着重合法などによりさまざまな有機・無機材料を成膜できる装置です。目的に応じた処理室を自由に選択できます。

枚葉式PE-CVD装置
CME-200E/400

cme200e

枚葉式PE-CVD装置 CME-200E/400は、シリコン系の絶縁膜・バリア膜等の成膜に最適な、量産用PE-CVD装置です。

ロードロック式プラズマCVD装置
CC-200/400

cc200400

ロードロック式プラズマCVD装置CC-200/400は、小型で使いやすく、研究開発から生産までに対応した装置です。

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