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ULDiS シリーズ

光学膜用スパッタリング装置
ULDiS シリーズ

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ULDiS-s

光学膜用スパッタリング装置 ULDiSシリーズは、メタモード® の技術を進化させたデジタルスパッタ装置で、より高品位の光学膜を実現します。
米国JDSユニフェーズ社と新たにライセンス契約を締結。
ライセンス契約締結により、JDSユニフェーズ社が特許を取得しているメタモード® スパッタをすべての光学用途で制限なく装置販売いたします。

特長

  • 光学特性に優れた成膜が可能
  • 低温成膜が可能
  • ダブルカソード採用で異常放電を抑制
  • 膜厚再現性の良い成膜が可能
  • 低ダメージカソード等の豊富なオプションを用意

用途

  • デジタルカメラ等のIRカットフィルタ
  • プロジェクタ等のダイクロイックフィルタ
  • DVD用の位相ミラー
  • その他ARなどの光学薄膜

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